从苏远山对浸润式光刻技术的支持力度就知道,苏远山是压根都不相信什么F2光源的……
即便能够完成技术突破,那玩意要牵扯到的方方面面也太广了,几乎可以说和目前的ARF完全不搭
生产和改造成本极为高昂
当然,如果说F2光源是唯一的解决方案,那也就算了,在EUV没能实现之前,总算是有点波长进步不是?
但林本坚的浸润式光刻,只要完成,那么只需要极低的成本就能把波长从193nm缩短到134nm……
从苏远山对浸润式光刻技术的支持力度就知道,苏远山是压根都不相信什么F2光源的……
不想结印的我点数全加了写轮眼:说一下 发表于 2021-11-15 23:44:17即便能够完成技术突破,那玩意要牵扯到的方方面面也太广了,几乎可以说和目前的ARF完全不搭
可爱多少钱一斤:91.九十一块 发表于 2018-03-14 21:14:47生产和改造成本极为高昂
投喂大理寺少卿日常:100、善恶终有报 发表于 2022-02-27 22:32:59当然,如果说F2光源是唯一的解决方案,那也就算了,在EUV没能实现之前,总算是有点波长进步不是?
神级鉴定扒皮系统:第二千三百六十五章 调查开始 发表于 2021-04-30 20:55:47但林本坚的浸润式光刻,只要完成,那么只需要极低的成本就能把波长从193nm缩短到134nm……
我能推演世界走向:第358章 人类极度作死,傲慢到忤逆世界观测者!?(四千字高潮大章求订阅!) 发表于 2020-03-15 02:38:38